[发明专利]用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置在审

专利信息
申请号: 202110795894.8 申请日: 2021-07-14
公开(公告)号: CN113655610A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 刘岩;乔玉娥;邹学峰;丁立强;吴爱华;赵英伟;李锁印 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: G02B21/24 分类号: G02B21/24;G06F17/14
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 付晓娣
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供一种用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置。该方法包括:获取照明光强在预设最大离焦范围内单调变化的光热反射显微热成像装置采集的被测件位于待对焦位置时的采集图像,及被测件位于对焦位置时的参考图像;根据采集图像计算得到第一总强度值,并根据参考图像计算得到第二总强度值;比较第一总强度值和第二总强度值的大小,基于比较结果和照明光强在预设最大离焦范围内单调变化的趋势,确定被测件的离焦方向;获取被测件的离焦深度;离焦方向和离焦深度用于对被测件进行对焦。本发明能够在提高对焦效率的同时,避免人工对焦一致性不够的问题,保证多帧采集图像的对焦稳定性,提高基于光热反射进行测温时测量结果的准确性。
搜索关键词: 用于 光热 反射 显微 成像 自动 对焦 方法 控制 装置
【主权项】:
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