[发明专利]一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法在审
| 申请号： | 202110795986.6 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113375573A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李琪;李适;李伟;黄鹭;施玉书;黎雄威;高思田 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/01;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 孙玲 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法，其中校准装置包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头，远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上，CCD相机在平移平台上平移；第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪；第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器；中间调节装置包括位置调节平台和安装于位置调节平台上的五棱镜。相比于现有技术，本发明能够实现自准直仪光轴与CCD相机运动轴成90°，稳频激光器光轴与CCD相机运动轴成180°，从而完成椭偏测量初始90°入射角的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 初始 入射角 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
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