[发明专利]亚波长光栅及垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202110797498.9 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113488846A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 戚宇轩;李伟;刘素平;马骁宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种亚波长光栅及垂直腔面发射激光器。其中，亚波长光栅包括：氧化铟锡形成的基底层(2)；以及非晶硅或砷化铝镓形成的光栅层(1)，所述光栅层形成于所述基底层(2)上。基于以氧化铟锡形成的基底层(2)的亚波长光栅作为P面反射镜的垂直腔面发射激光器，包括发光器件；以及亚波长光栅，所述亚波长光栅设置在所述发光器件的P型掺杂层的上(4)。其中的发光器件，包括：由下至上依此层叠的衬底(8)、N型掺杂层(7)以及支撑台(10)；所述衬底的底面设置有下电极(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 光栅 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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