[发明专利]一种光学位移传感器及光学位移检测系统有效
| 申请号： | 202110797538.X | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113405471B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 凌进中;王晓蕊;郭金坤;袁影;刘鑫 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学位移传感器，包括按照同一中心线依次设置的：光源模块，用于产生非均匀光场；可移动定位标尺，其上设有周期性微纳结构，用于在所述非均匀光场的照射下产生表面等离子波，并相互干涉形成近场干涉图像；成像模块，用于将所述近场干涉图像转化成远场成像图；成像探测器，用于将所述远场成像图的光场强度转化成电信号，以实现位移测量。本发明提供的光学位移传感器同时实现了大量程、高精度的位移测量要求，且具有非接触、稳定度高等优点，能够广泛应用于超精密位移测量和超精密加工制造等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 位移 传感器 检测 系统 | ||
【主权项】：
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