[发明专利]一种硅陀螺增加质量式调谐方法

摘要

本发明公开了一种硅陀螺增加质量式调谐方法，该方法首先将硅陀螺放置于合适压强的气体氛围中，并利用硅陀螺的频率裂解测试结果确定其增加的质量和增加质量的位置。然后通过视觉系统和运动平台将硅陀螺移动到合适的加工区域。最后利用超快激光诱导硅陀螺目标位置与气体元素反应，实现硅陀螺局部的质量增加，降低其频率裂解。通过改变气体浓度、激光诱导位置、激光功率和激光诱导时间等，可精密控制增加的质量，实现硅陀螺的精密调谐。增加质量式调谐在降低硅陀螺频率裂解的同时最大程度地保持了谐振子的连续性。该方法具有调谐精密、损伤小、增加质量可控和加工对象广的特点，可用于硅陀螺的精密调谐，具有广阔的应用前景。