[发明专利]基于熔池多元光学信息的LDED在线监测装置及缺陷诊断方法在审

专利信息
申请号: 202110798660.9 申请日: 2021-07-15
公开(公告)号: CN113588074A 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 李世华;陈波;檀财旺;宋晓国;冯吉才 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学(威海)
主分类号: G01J1/00 分类号: G01J1/00;G01J1/42;H01L31/00
代理公司: 威海科星专利事务所 37202 代理人: 李沫
地址: 264200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提出一种基于熔池多元光学信息的LDED在线监测装置及缺陷诊断方法,其中装置包括三个光纤探头,第一、二光纤探头靠近熔池的一端分别设有带通滤波片和陷波滤波片,另一端通过光学光纤分别向第一、二近红外光电探测器传输光学信息,第三光纤探头靠近熔池的一端设有保护镜片,另一端分别向可见光光电探测器和紫外光电探测器传输光学信息,三个光纤探头通过同步机构与LDED激光头保持同步运动,四个光电探测器分别与对应的电流电压转换模块相连,各个电流电压转换模块与数据采集卡相连,数据采集卡还与计算机相连。上述基于熔池多元光学信息的LDED在线监测装置及缺陷诊断方法能对增材制造过程进行实时监测,并根据异常信号判断缺陷的类型。
搜索关键词: 基于 熔池 多元 光学 信息 lded 在线 监测 装置 缺陷 诊断 方法
【主权项】:
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