[发明专利]铌酸银基无铅反铁电膜及其制备方法和应用有效
申请号: | 202110801017.7 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN113529059B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 李敬锋;舒亮;刘丽莎;张鑫;高静;黄宇;程月雨杉 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12;H01G4/10;H01G4/30 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵丽婷 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了铌酸银基无铅反铁电膜及其制备方法和应用。该制备方法包括:将乙二醇独甲醚和乙二醇混合得到混合溶剂,将乙醇铌和乙二醇独甲醚混合得到乙醇铌溶液;将硝酸银、柠檬酸和一部分的混合溶剂混合,并调节混合液的pH值得到含银溶液;将乙醇铌溶液和另一部分的混合溶剂混合得到含铌溶液;将含银溶液和含铌溶液混合、陈化得到银铌溶胶;将银铌溶胶形成在衬底上并进行甩胶成膜处理形成凝胶膜;连带衬底对凝胶膜进行烘干、热解和退火处理得到铌酸银基反铁电膜。该方法不仅安全可靠、设备简单、用料省、成本低、易于实现工业化生产,而且采用的溶剂无毒无害,且溶胶合成过程中无需加热,可在衬底上沉积出纯相薄膜。 | ||
搜索关键词: | 铌酸银基无铅反铁电膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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