[发明专利]一种钨钛合金靶材及其制备方法、应用有效
| 申请号： | 202110803536.7 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113579233B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡新志;童培云;朱刘;曾成亮 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/15 | 分类号： | B22F3/15;B22F9/04;C22C1/04;C22C27/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新站区龙*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种钨钛合金靶材及其制备方法，涉及靶材制备领域。本发明所述一种钨钛合金靶材的制备方法，包括如下步骤：(1)将钨粉和钛粉混合均匀，得到混合合金粉末；(2)用石墨纸将模具内部铺满后，将石墨纸、垫片、混合合金粉末装入模具中；其中，所述石墨纸、垫片、混合合金粉末的装入顺序从下往上依次为：石墨纸、垫片、合金粉；石墨纸、垫片、合金粉作为一个整体模块，所述模块在模具中至少2个；最后依次加入石墨纸、垫片后封装模具；(3)模具进行脱气后，置于热等静压炉中烧结，反应一段时间后冷却至25‑30℃，取出模具，得到钨钛合金靶坯；(4)将步骤(3)中的钨钛合金靶坯进行机加工处理后，得到所述钨钛合金靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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