[发明专利]一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法有效
| 申请号： | 202110803539.0 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113584333B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡新志;朱刘;童培云;冉成义;苏紫珊 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C21/00;B22C9/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法，涉及靶材制备领域。本发明所述一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法，包括如下步骤：(1)将合金熔体浇铸到模具内，冷却成型后，检查表面异常区域；(2)将步骤(1)得到的冷却后的合金材料剪切成块，得到正常合金块；异常区域的合金材料剪切成块后单独放置，得到异常合金块；(3)将步骤(2)中得到的合金块沿着坩埚内部进行放置；其中，正常合金块放置在坩埚内部的中间位置，异常合金块放置在坩埚内部的四周位置；(4)将坩埚进行加热熔炼，熔化均匀后浇铸到模具成型，得到所述铝钪合金靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 合金 均匀 方法 | ||
【主权项】：
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