[发明专利]拉曼光谱测试系统有效
申请号: | 202110803626.6 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN113418609B | 公开(公告)日: | 2022-11-11 |
发明(设计)人: | 刘雪璐;罗伟霞;谭平恒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01J3/44 | 分类号: | G01J3/44;G01J3/02;G01N21/65 |
代理公司: | 北京中和立达知识产权代理有限公司 11756 | 代理人: | 孟姣 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供了一种拉曼光谱测试系统,包括单色光模块、光路耦合与输出模块及信号检测模块,其中:所述单色光模块包括超快激光器,所述超快激光器用于发射超短脉冲激光,所述超短脉冲激光的输出波长连续可调;所述光路耦合与输出模块,用于将所述单色光模块输出的单色光聚焦至样品表面,激发并收集拉曼散射光,滤除瑞利散射光;所述信号检测模块,用于接收所述拉曼散射光并进行检测,得到所述样品的拉曼光谱。本公开中的拉曼光谱测试系统的激发光源具有在超宽谱带范围连续可调、功率密度高、单色性好等特点,拉曼光谱测试系统可方便地切换不同激发波长实现拉曼光谱测量,具有操作简单、效率高、可调控性强、功能易于拓展、应用范围广等特点。 | ||
搜索关键词: | 光谱 测试 系统 | ||
【主权项】:
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