[发明专利]一种基于压电复合薄膜的双频集成超声换能器在审
| 申请号： | 202110805003.2 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113594352A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 任丹阳;施钧辉;尹永刚;陈睿黾;李驰野 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | H01L41/18 | 分类号： | H01L41/18;B06B1/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于压电复合薄膜的双频集成超声换能器。本发明基本结构为一种0‑0‑3型压电复合薄膜(高频压电复合薄膜)、AlN压电薄膜(超高频压电薄膜)以及三层电极的多层结构，结构自上而下包括金属上电极层、0‑0‑3型复合压电薄膜、中间金属电极层、AlN压电薄膜层、下电极层等。本发明中0‑0‑3型压电复合薄膜层超声换能器频率范围为数十～数百MHz，而AlN层超声换能器频率范围为GHz，因而通过本发明双频集成式超声换能器的设计，可通过切换不同的换能器层满足不同场景的频率及分辨率使用要求，进而达到提高超声换能器的频率使用范围以及一换能器多用的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 压电 复合 薄膜 双频 集成 超声 换能器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室，未经之江实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110805003.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种悬索桥吊索更换托换装置
- 下一篇：一种海洋经济养殖平台
