[发明专利]一种皮米量级分辨力的微位移测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 202110805145.9 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113532285B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 刘芳芳;金彪;杨子涵;林芳慧;周何银;李红莉;夏豪杰 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 陆丽莉;何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种皮米量级分辨力的微位移测量系统及测量方法，该系统包括探针模块、光路模块、静态锁相放大处理模块、上位机采集处理模块和微位移驱动模块，其中探针模块包括：测量FBG传感器、匹配FBG传感器、精密不锈钢针管、外部支架；光路模块包括：ASE宽带光源、第一环形器、第二环形器、InGaAs光电探测器；上位机采集处理模块包括：数据采集卡、计算机；微位移驱动模块包括：压电陶瓷纳米定位器、压电陶瓷驱动器、三维精密微动台。本发明能实现对微位移的检测，具有皮米量级的微位移测量分辨力，以及纳米量级的灵敏度和较低的噪声水平，从而具有对测量环境干扰的鲁棒性较强，工作稳定、性能较好且成本较低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 种皮 量级 分辨力 位移 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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