[发明专利]一种基于调控半导体材料吸收层厚度的光谱探测器件在审

专利信息
申请号: 202110806405.4 申请日: 2021-07-16
公开(公告)号: CN113659021A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 徐杨;陈丽;李泠霏;刘威;田丰;吴少雄;吕建杭;李涵茜;俞滨 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/09;H01L31/18
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 刘静
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于调控半导体材料吸收层厚度的光谱探测器件。该器件包括绝缘层、半导体材料吸收层、正电极、负电极及二维材料薄膜,半导体材料吸收层呈阶梯阵列结构。有光线入射时,由于二维材料的高透光率,光线进入半导体材料并被吸收,不同波长入射光在半导体材料吸收层中的吸收深度不同,因此,对于特定厚度的半导体材料吸收层,对于不同波长的入射光其吸收量不同,对应可贡献光电流不同。各阶梯单元对应的两端电极之间均施加相同恒定电压,分别读取各阶梯单元黑暗和光照条件下产生的电流信号,取二者之差作为最终光电流信号,与预先标定构建的器件不同阶梯单元下响应度‑波长谱建立线性方程组求解最优解,即可获取入射光谱信息。
搜索关键词: 一种 基于 调控 半导体材料 吸收 厚度 光谱 探测 器件
【主权项】:
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