[发明专利]一种基于调控半导体材料吸收层厚度的光谱探测器件在审
申请号: | 202110806405.4 | 申请日: | 2021-07-16 |
公开(公告)号: | CN113659021A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 徐杨;陈丽;李泠霏;刘威;田丰;吴少雄;吕建杭;李涵茜;俞滨 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/09;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 刘静 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于调控半导体材料吸收层厚度的光谱探测器件。该器件包括绝缘层、半导体材料吸收层、正电极、负电极及二维材料薄膜,半导体材料吸收层呈阶梯阵列结构。有光线入射时,由于二维材料的高透光率,光线进入半导体材料并被吸收,不同波长入射光在半导体材料吸收层中的吸收深度不同,因此,对于特定厚度的半导体材料吸收层,对于不同波长的入射光其吸收量不同,对应可贡献光电流不同。各阶梯单元对应的两端电极之间均施加相同恒定电压,分别读取各阶梯单元黑暗和光照条件下产生的电流信号,取二者之差作为最终光电流信号,与预先标定构建的器件不同阶梯单元下响应度‑波长谱建立线性方程组求解最优解,即可获取入射光谱信息。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 调控 半导体材料 吸收 厚度 光谱 探测 器件 | ||
【主权项】:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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