[发明专利]一种锗晶体生长设备防辐射隔热机构在审
申请号: | 202110809695.8 | 申请日: | 2021-07-17 |
公开(公告)号: | CN113463180A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请(专利权)人: | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B13/00;C30B29/08 |
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地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种锗晶体生长设备防辐射隔热机构,包括底柱,底杆表面设置有隔热防辐射机构,隔热防辐射机构的内部设置有两个夹紧机构,本发明的有益效果是:通过将两个隔热防辐射筒紧密闭合,减少热量外泄,有效保护工作人员的安全,同时隔热防辐射筒可以方便取下,方便对坩埚进行处理,在需要进行隔热防护时,双头电机带动第二转杆旋转,第二转杆通过铰接杆带动隔热防辐射筒上升,将坩埚置于其中,坩埚进行加热时,高温使得金属管内部的气体膨胀,几百度的温差使金属管内部的气体膨胀,形成较大的压力,密封滑块带动支杆上移,支杆通过斜面推动外延块,使两个隔热防辐射筒紧密闭合。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 设备 防辐射 隔热 机构 | ||
【主权项】:
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