[发明专利]一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法有效
| 申请号： | 202110812080.0 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113463037B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;徐悟生;姜劭华;朱逢旭;熊加丽;杨春晖;罗俊 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/18;C23C14/08;C23C14/02 |
| 代理公司： | 苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 32523 | 代理人： | 查杰 |
| 地址： | 066000 河北省秦*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法，线对待镀的异形导光棒进行超声清洗，然后对待镀的异形导光棒进行离子清洗活化；随后镀制反射膜；在镀膜装置内通入氧气，通过电子枪发射电子束将镀膜装置内坩埚中的铝熔化后蒸发，同时对坩埚施加连续直流偏压，将氧气及铝蒸气离化形成等离子云；还对异形导光棒施加脉冲直流偏压，异形导光棒浸没于生产的铝、氧等离子体中，以镀制氧化铝打底层；接着重新通入氩气，以镀制金属铝层；参照氧化铝打底层制备氧化铝保护层，得到成品。本发明能够在异形导光棒外表面镀制均匀反射膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化物 异形 导光棒 外表 反射 方法 | ||
【主权项】：
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