[发明专利]光罩蒙版的清洗机台及清洗方法在审
| 申请号： | 202110812571.5 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113560274A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 孙飞 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张竞存;张颖玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种光罩蒙版的清洗机台及清洗方法，其中，清洗机台至少包括：风刀和清洗装置；所述风刀用于对所述光罩蒙版表面的污染颗粒进行吹除；所述清洗装置用于向所述光罩蒙版表面喷洒清洗液，以通过所述清洗液的挥发来风化未被所述风刀吹除的污染颗粒；所述风刀还用于对风化后的污染颗粒进行吹除。通过本申请能够去除附着性较强的污染颗粒，不会影响产品的生产过程和交付日期，且不会在清洗过程中破坏光罩蒙版。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩蒙版 清洗 机台 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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