[发明专利]一种基于多层复合薄膜的柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110814132.8 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113503992B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;问磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多层复合薄膜的柔性压力传感器及其制备方法，传感器包括衬底层、电极层、压力敏感层以及顶部保护层。压力敏感层为多孔MXene/还原氧化石墨烯纳米片多层复合薄膜，自上而下包括第一层还原氧化石墨烯薄膜、多孔MXene薄膜层、第二层还原氧化石墨烯薄膜。各敏感层微观材料结构呈疏松状多孔结构，对压缩应变有优良的灵敏度以及极低的检测极限。多层复合结构使传感器具有较大检测范围。本发明公开的柔性传感器，可以实现极低压力的检测，灵敏度高，制备方法简单易行，可行性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多层 复合 薄膜 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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