[发明专利]碳化硅表面原子台阶宽度测量方法及系统

摘要

本发明提供一种碳化硅表面原子台阶宽度测量方法及系统，该方法包括，获取待测碳化硅表面对应于不同旋转角度的多个原子台阶图像，各原子台阶图像均对应于所述待测碳化硅表面的目标区域；将各原子台阶图像的灰度值按行或列求和，得到各原子台阶图像对应的一维离散点向量，并对所述一维离散点向量进行拟合，得到所述一维离散点向量的拟合函数；基于各原子台阶图像对应的拟合函数、各原子台阶图像的尺寸以及所述目标区域的尺寸，确定所述待测碳化硅表面的原子台阶宽度，该方法无需人工参与，可以实现自动测量原子台阶宽度，节省了人力，且消除了人工测量带来的主观性，减少了测量误差。