[发明专利]悬浮式压电超音波感测器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110819590.0 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115638809A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 邱奕翔 | 申请（专利权）人： | 茂丞（郑州）超声科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48;G01D11/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎圣霏凡专利代理事务所(普通合伙) 44759 | 代理人： | 袁野 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市郑州高新技术产*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本申请提供一种悬浮式压电超音波感测器及其制作方法，其中，该悬浮式压电超音波感测器包含半导体基板及压电超音波感测元件；半导体基板包含柱状设置区、周缘壁、及至少一个桥接部，柱状设置区与周缘壁之间为空腔，空腔围绕柱状设置区，桥接部连接柱状设置区及周缘壁；压电超音波感测元件设置于柱状设置区上。通过在半导体基板上设置空腔及桥接部，可通过此方式来调整所需的频率，进而调整所需声压及发射角度，提供较大的制程裕度。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮 压电 超音波 感测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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