[发明专利]一种Si、WC增强复合多层非晶碳基宽温域润滑薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110821128.4 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113549868B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 李泽清;何卫锋;张虹虹;张广安;聂祥樊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Si、WC增强复合多层非晶碳基宽温域润滑薄膜及其制备方法，属于涂层材料技术领域。本发明采用多靶闭合场非平衡溅射系统实现Si、WC增强复合多层非晶碳基宽温域润滑薄膜的制备，依次包括基体表面处理、在基体表面沉积Cr粘结层和梯度过渡层(Cr→Cr/a‑C→WC/a‑C)、在梯度过渡层表面交替沉积nWCC纳米子层和Si/a‑C纳米子层。该Si、WC增强复合多层结构碳基薄膜在大气环境25‑500℃宽温域条件下具有良好的自润滑性能，显著提高了非晶碳基润滑膜的适用温域，为其应用于大气宽温域或高温等苛刻工况提供了新的契机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 si wc 增强 复合 多层 非晶碳基宽温域 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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