[发明专利]一种针对3D零部件的大范围高精度快速缺陷检测系统在审
| 申请号： | 202110821594.2 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113588682A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 何赛灵;罗晶 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/25 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种针对3D零部件的大范围高精度快速缺陷检测系统，包括共聚焦光谱形貌显微探测模块、线激光形貌探测模块、位移旋转模块和信息处理单元；信息处理单元用于控制位移旋转模块载着待测样品经过线激光形貌探测模块进行快速缺陷检测并定位缺陷位置，控制位移旋转模块带动待测样品转动以增加扫描范围；以及控制位移旋转模块载着待测样品到共聚焦光谱形貌显微探测模块对待测样品表面缺陷进行高精度三维形貌扫描。本发明将线激光形貌探测和共聚焦光谱形貌显微探测进行优势互补，克服了传统形貌缺陷探测系统上精度和时间效率的冲突。系统具有高精度、高效率、适用性广，可以进行大范围扫描等优良特性，在工业缺陷检测领域具有巨大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 零部件 范围 高精度 快速 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
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