[发明专利]一种钝化保护半导体玻璃粉、制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 202110823152.1 申请日: 2021-07-20
公开(公告)号: CN113548803A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 孙松;李萌萌;郭立升;魏宇学;蔡梦蝶;程芹;曹孙根 申请(专利权)人: 安徽大学
主分类号: C03C12/00 分类号: C03C12/00;C03C8/24;C03C3/064;C03B8/02;H01L23/29
代理公司: 合肥中悟知识产权代理事务所(普通合伙) 34191 代理人: 张婉
地址: 230000*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明研发了一种钝化保护半导体玻璃粉的制备方法,并且该玻璃粉能够用于防止半导体氧化,防止酸、碱和光腐蚀半导体等。本发明制备出的无铅低熔点玻璃粉,能够通过溶胶‑凝胶法进行合成,并且在空气气氛下煅烧形成具有粘附性能强的玻璃态致密层。在溶胶‑凝胶过程中通过引入助剂能够进一步改善玻璃粉的玻璃化转变温度。本发明通过采用溶胶‑凝胶法合成R‑Al2O3‑B2O3‑SiO2‑Bi2O3玻璃粉,为钝化保护半导体材料提供了一种新的思路。
搜索关键词: 一种 钝化 保护 半导体 玻璃粉 制备 方法 应用
【主权项】:
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