[发明专利]一种通过调控光和温度制备气体传感器阵列的方法及装置有效

专利信息
申请号: 202110823702.X 申请日: 2021-07-20
公开(公告)号: CN113358711B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 龚元兵;廖树伟;丘勇才 申请(专利权)人: 艾感科技(广东)有限公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;B81C3/00
代理公司: 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 代理人: 何志欣
地址: 528012 广东省佛山市禅城区环*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种基于光和温度调控的气体传感器阵列,至少包括基底和设置在基底上的由若干传感像素排布形成的传感像素阵列,传感像素包括至少一个加热组件、气敏单元和至少一个发光二极管,气敏单元设置于加热组件和发光二极管之间,加热组件以与气敏单元相对应的方式设置在基底内,发光二极管设置在其照射范围能够覆盖气敏单元表面的空间位置,在加热组件的温度参数和发光二极管的光参数分别独立变化的情况下,气敏单元中的电阻基于温度参数、光参数及其温度参数和光参数构成的组合参数的影响形成对于气体氛围具有差异化影响的若干种电阻参数,从而基底上的传感像素阵列形成在同一时刻对气体氛围存在若干种差异性响应的气体传感器阵列。
搜索关键词: 一种 通过 调控 光和 温度 制备 气体 传感器 阵列 方法 装置
【主权项】:
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