[发明专利]一种具有多孔结构磨合层的DLC复合薄膜及其制备工艺有效
| 申请号： | 202110827785.X | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113278915B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海;祖全先 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C16/26;C23C16/50;C23C28/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 翟超 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有多孔结构磨合层的DLC复合薄膜的制备工艺，包括以下步骤：对待涂层的零件基材表面进行预处理；在零件基材表面依次沉积Cr结合层、Cr/WC过渡层、WC‑C:H过渡层；采用PECVD技术在所述WC‑C:H过渡层表面沉积含氢DLC层；通入乙炔和惰性气体，在偏压恒压脉冲模式下在所述含氢DLC层背离所述WC‑C:H过渡层的表面沉积多孔碳基磨合层。本发明利用表面具有大量的孔隙的碳基磨合层，储存润滑介质，为摩擦提供润滑性的碳源，降低摩擦系数，在短时间内达到磨合效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多孔 结构 磨合 dlc 复合 薄膜 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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