[发明专利]一种基于掺杂铟镓锌氧化物的可切换颜色滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110828330.X | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113504595A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王升耀;郑改革;徐董董 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/12;C23C28/00;C23C16/50;C23C14/35;C23C14/30;C23C14/18;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于掺杂铟镓锌氧化物的可切换颜色滤波器，涉及颜色滤波器技术领域。该可切换颜色滤波器由上之下依次连接PMMA层、第一Ag薄膜层、IGZO层、第二Ag薄膜层，通过磁控溅射法结合退火工艺获得厚度为115~220nm的IGZO层，通过电子束蒸发沉积厚度均为20nm的第一Ag薄膜层、第二Ag薄膜，将第一Ag薄膜层涂覆在IGZO层的上侧，将第二Ag薄膜层涂覆在IGZO层的下侧，在第一Ag薄膜层上旋涂厚度为84nm的PMMA层，得到滤波器，将滤波器进行氢等离子体增强化学气相沉，得到可切换颜色滤波器。本发明的可切换颜色滤波器通过氢等离子体增强化学气相沉，实现可调颜色输出，具有高效率、高空间分辨率和高稳定性的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 掺杂 铟镓锌 氧化物 切换 颜色 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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