[发明专利]一种降低纳米银线导电膜蚀刻痕的方法在审

专利信息
申请号: 202110831285.3 申请日: 2021-07-22
公开(公告)号: CN113488287A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 殷志豪;徐林;彭颖杰 申请(专利权)人: 苏州诺菲纳米科技有限公司
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 苏张林
地址: 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种降低纳米银线导电膜蚀刻痕的方法,主要包括以下步骤:(1)制备导电材料墨水,导电材料由细纳米银线及难被刻蚀的金属单质或复合物组成;(2)将导电材料墨水涂覆在基底表面形成导电层;(3)在导电层表面涂覆保护层制备得到纳米银线导电膜;(4)根据预设图案对纳米银线导电膜进行刻蚀。由于导电材料中纳米银线容易被蚀刻,而其它金属单质或复合物(例如金属纳米棒、金属纳米颗粒、金属纳米片以及钝化或金属包覆的纳米材料)由于尺寸相对较大或表面活性低而未完全被蚀刻,以实现对蚀刻区的光学补充,进而降低蚀刻痕。较之传统的同一规格银线的截断式蚀刻,本发明提供的方法工艺调控空间大,效果可叠加,且适合大尺寸导电膜。
搜索关键词: 一种 降低 纳米 导电 蚀刻 方法
【主权项】:
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