[发明专利]一种硅基OLED制程中使用的显影液组合物有效
| 申请号： | 202110832614.6 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113448185B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;田博;房龙翔;叶鑫煌 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;B01F35/222;B01F33/80;B01D29/00;B01D29/56 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 修斯文;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种硅基OLED制程中使用显影液组合物及其制备方法，该显影液通过特定的含氟杂环表面活性剂组分与非离子表面活性剂苯乙基苯酚聚氧乙烯油醚类表面活性剂复配，得到的显影液渗透性强，分散性均匀，能快速并有效得到高分辨率的图形，同时对光刻胶反应后的颗粒具有优异的分散性残渣少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 制程中 使用 显影液 组合 | ||
【主权项】：
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