[发明专利]半导体装置以及半导体装置的制造方法

摘要

提供一种半导体装置以及半导体装置的制造方法。半导体装置具备层叠体，所述层叠体包括：交替地层叠的绝缘层和包含钼的导电层；氧化铝层，其设置在所述绝缘层与所述导电层之间；以及保护层，其与所述氧化铝层相接，包含与所述氧化铝层中的铝进行了结合的碳、氮和硫中的任一种，与所述导电层相接。所述层叠体具有设置在所述绝缘层和所述导电层内的绝缘体，所述绝缘体与所述绝缘层的一部分、所述氧化铝层的一部分、所述保护层的一部分以及所述导电层的一部分相接。