[发明专利]一种新型碳化硅衬底的前处理设备及制造方法

摘要

本发明提供了一种新型碳化硅衬底的前处理设备及制造方法，包括进气管路、反应腔、隔热层、支撑部件、射频加热部件、真空抽气部件、尾气处理管路、加热基板和衬底托盘；进气管路和尾气处理管路分别位于隔热层两个侧边，射频加热部件位于反应腔底部，支撑部件位于加热基板并固定加热基板于隔热层内侧底部，加热基板上设置有凹槽，衬底托盘位于凹槽处，真空抽气部件位于隔热层外侧；衬底托盘包括基材、结构层和防护层；结构层位于基材上并具有标准形貌或图案支撑结构；防护层位于结构层上。其中本发明的有益效果是：降低衬底缺陷，改进衬底外延生长前处理，在不影响衬底处理效果的同时进行大批量、多批次处理，同时减少外延准备时间，缩短工艺流程。