[发明专利]一种棱镜测试治具及光谱仪在审

专利信息
申请号: 202110839191.0 申请日: 2021-07-23
公开(公告)号: CN113552097A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 杨晓光;高峰 申请(专利权)人: 昆山丘钛微电子科技股份有限公司
主分类号: G01N21/59 分类号: G01N21/59;G01N21/55;G01N21/25;G01N21/01;G01M11/02
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 代理人: 牟应龙
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种棱镜测试治具及光谱仪,涉及棱镜测试技术领域,解决了相关技术中的测试设备无法对棱镜的反射率和透射率进行测试的技术问题。该棱镜测试治具包括棱镜、载具与至少两个反射镜,棱镜的射入光束与射出光束之间具有角度α,载具包括可转动的调整件,载具用于搭载棱镜,调整件调整角度α,至少两个反射镜设置于载具,棱镜的射出光束依次经过至少两个反射镜的反射后,沿与棱镜射入光束共线并且相同的方向射出。本发明通过至少两个反射镜,能够将载具上棱镜的射出光束恢复至与射入光束共线并且方向相同的位置,从而使原本仅能够测试共线光路产品反射率和透射率的测试设备,也能够适用于棱镜的反射率和透射率测试。
搜索关键词: 一种 棱镜 测试 光谱仪
【主权项】:
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