[发明专利]测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 202110839858.7 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113686816A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 储祥勇;宋瑛林;杨勇 | 申请（专利权）人： | 苏州微纳激光光子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01M11/02 |
| 代理公司： | 苏州满天星知识产权代理事务所(普通合伙) 32573 | 代理人： | 牛保和 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于4f相位相干成像系统的非线性光学参数的测量装置，包括激光束调制系统，测量系统和分光镜，激光束调制系统与测量系统构成4f相位相干成像系统，测量装置还包括显微成像系统。激光束经所述分光镜后分别进入测量系统和显微成像系统，所述分光镜为透射‑反射镜。通过设置显微成像系统观察待测样品，扩展了待测样品的尺寸范围。本发明还公开了一种测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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