[发明专利]极紫外光光刻方法和系统有效
申请号: | 202110843419.3 | 申请日: | 2021-07-26 |
公开(公告)号: | CN113433804B | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 马修泉;王长久;闻锦程;吴寒;王力波;孙克雄;马新敏;陆培祥 | 申请(专利权)人: | 广东省智能机器人研究院 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘羚 |
地址: | 523808 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求;根据所述极紫外光光刻请求生成液滴靶材,并生成液滴靶材对应的多路脉冲激光;将多路脉冲激光聚焦于液滴靶材,以使液滴靶材等离子体化,获取激光等离子体;采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源,基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请针对光源驱动能量不足的问题,将多路脉冲激光经过聚焦后作用于液滴靶材,从而生成激光等离子体,通过多路激光的叠加来获得打靶所需的高能量,可以有效提高光刻光源的发光效率,从而保证紫外光光刻质量。 | ||
搜索关键词: | 紫外光 光刻 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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