[发明专利]一种钽靶材反溅射层的加工方法在审
| 申请号： | 202110844966.3 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113846299A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C4/02;B24C1/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钽靶材反溅射层的加工方法，所述加工方法包括在所述反溅射层依次进行喷砂处理和熔射处理。所述方法可以有效降低钽靶材溅射过程中出现Particle的风险，提高靶材的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材反 溅射 加工 方法 | ||
【主权项】：
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