[发明专利]一种铝合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110845425.2 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113564544A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;江胜君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/02;B22F3/15;B22F3/24;C22C14/00;C22C16/00;C22C21/00;C22C27/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括：按照靶材的元素比例进行金属单质粉末的混合，将混合后的粉末装入包套中进行冷压成型；然后将包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行一次热等静压处理，得到成型靶坯；将成型靶坯进行真空热处理，然后再次装入包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行二次热等静压处理，得到铝合金靶材。本发明所述方法采用粉末冶金法来制备合金靶材，通过采用粉末混合、冷压、两次热等静压处理，以及两次热等静压之间进行的热处理，有助于合金靶材中组织结构的优化，使得晶粒组织细小且分布均匀，不存在成分偏析，致密度高，机械加工性能优良，能够满足溅射用靶材的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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