[发明专利]一种电沉积方法和电沉积装置有效
| 申请号： | 202110845612.0 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113564650B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 陈晓磊;陈嘉森;朱嘉俊;郭钟宁 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C25D5/08 | 分类号： | C25D5/08;C25D5/00;C25D17/06;C25D21/14 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 戴涛 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电沉积方法，包括如下步骤：S1：在液槽中加入密度比电铸液低且不导电的保护液，使阴极基底浸没于保护液中；S2：将用于喷出电铸液的喷嘴的出口朝上，并将喷嘴的出口置于阴极基底底面下方，并保证喷嘴出口喷出的电铸液与阴极基底底面接触；S3：将阳极与喷嘴内的电铸液电连接，阳极和阴极基底分别与电源的正极和负极相连，然后通电；S4：电铸液通过喷嘴持续流出到阴极基底底面上，此过程中，喷嘴与阴极基底根据所需要沉积的形状在三维空间中相对移动，直至沉积出所需要的形状后，结束电沉积。本发明还包括一种点沉积装置。本发明操作简单，定域性好，定位精度高，能有效防止电铸液在阴极基底杂散沉的电沉积方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 方法 装置 | ||
【主权项】：
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