[发明专利]一种测试氧化锌微腔热光系数的方法在审
| 申请号： | 202110850810.6 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113670850A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 卢俊峰 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/63;G01N25/00;B81C99/00;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 马玉雯 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试氧化锌微腔热光系数的方法，利用激光泵浦温度可控的氧化锌光学微谐振腔，通过光谱仪采集微区激光模式的移动，给出折射率随温度的变化关系。相比于传统的测试方法，该方法可以测试有源腔带隙能量附近的热光系数；另外腔模半高宽极窄，因此该方法还具有较高的测试灵敏度和准确度。该方法弥补了传统方法在测试半导体带隙能量附近热光系数的不足，适用于微纳级小尺寸样品测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 氧化锌 微腔热光 系数 方法 | ||
【主权项】：
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