[发明专利]一种四振镜群孔加工方法有效
| 申请号： | 202110851313.8 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113579517B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 秦应雄;龙宙;许文强;秦庆全;段光前;黄树平;童杰 | 申请（专利权）人： | 江苏先河激光技术有限公司;江苏先河激光研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064;B23K26/082;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 徐俊伟 |
| 地址： | 223800 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种四振镜群孔加工方法；包括沿光路依次设置的振镜组、聚焦镜和加工平台；振镜组包括联动控制的X1振镜、Y1振镜、X2振镜和Y2振镜，X1振镜偏转实现光束在聚焦镜X方向的偏移，X2振镜补偿X1振镜的偏转角度后实现光束在X方向的角度偏移，Y1振镜偏转实现光束在聚焦镜Y方向的偏移，Y2振镜补偿Y1振镜的偏转角度后实现光束在Y方向的角度偏移，通过调节振镜的摆放角度来调节孔的位置、锥度和孔径，通过调节机构对聚焦镜或加工平台进行升降来调节聚焦位置；整个装置通过精准控制光束焦点位置的同时在所有的群孔上重复作用以减少等离子体对于打孔的影响，同时加速打孔效率；使用该装置进而完成孔径和锥度可调的异形微孔阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 四振镜群孔 加工 方法 | ||
【主权项】：
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