[发明专利]一种六振镜群孔加工装置及加工方法有效
申请号: | 202110852922.5 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113579518B | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 龙宙;秦应雄;段光前;黄树平;童杰 | 申请(专利权)人: | 江苏先河激光技术有限公司;江苏先河激光研究院有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/082;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/60;B23K26/70 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 徐俊伟 |
地址: | 223800 江苏省宿*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种六振镜群孔加工装置及加工方法,该装置包括第一振镜组、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第二振镜组及远心透镜,第一振镜组包括联动控制的X1振镜、Y1振镜、X2振镜及Y2振镜,第二振镜组包括X3振镜及Y3振镜,还包括可以调节焦距的焦点移动机构;X1振镜偏转实现光束在第一聚焦透镜X方向的偏移,X2振镜补偿X1振镜的偏转角度后实现光束在X方向的角度偏移,Y1振镜偏转实现光束在第一聚焦透镜Y方向的偏移,Y2振镜补偿Y1振镜的偏转角度后实现光束在Y方向的角度偏移。调节第二振镜组确定群孔中心位置后,再通过第一振镜组控制加工其中的一个孔,重复上述操作;该群孔加工方法可以实现各种锥度异形群孔的大幅面高速度加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 六振镜群孔 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
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