[发明专利]氮氧化物传感器及其芯片

摘要

本发明公开了一种氮氧化物传感器及其芯片，所述氮氧化物传感器芯片包括芯体，设于所述芯体内的多孔陶瓷功能区、参比电极及其参比气体通道，以及将所述芯体内设置的电极引出至表面的触点；所述多孔陶瓷功能区包括预定孔隙率的进气区、第一测试区和第二测试区，所述进气区和所述第一测试区之间设有第一限流控制区，所述第一测试区和所述第二测试区之间设有第二限流控制区。本发明取消了所有空腔的制作，改为在多孔陶瓷的相关部位形成所需要的孔隙率及所需的孔径大小，不但降低了加工难度，简化了制作工艺，还避免了产品在烧结过程中容易出现腔体变形、芯体表面塌陷等诸多不良，提升了瓷体强度，还具有更高的设计和工艺灵活性。