[发明专利]芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质在审
| 申请号： | 202110868375.X | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113554630A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 任获荣;熊振锋;李志武;詹劲松;吕银飞;高雪峰 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 郑州芝麻绘智知识产权代理事务所(普通合伙) 41191 | 代理人： | 夏开松 |
| 地址： | 710071 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明适用于芯片检测技术领域，提供了一种芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质，所述方法包括以下步骤：采集无损芯片的表面图片，以所述无损芯片的表面图像训练Cycle GAN网络框架，得到缺陷检测模型；输入待检测芯片的表面图片至缺陷检测模型中进行检测判定；当所述待检测芯片的表面被判定为有缺陷时，定位待检测芯片的表面图片中的缺陷位置，本发明的有益效果是：为实现芯片表面的缺陷检测提供了一种精度高、成本低的检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 表面 缺陷 检测 方法 系统 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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