[发明专利]一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具在审
| 申请号： | 202110869856.2 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113604783A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王奔;孙顺文;原清海 | 申请（专利权）人： | 上海米蜂激光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 李思琼;冯振华 |
| 地址： | 200136 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具，所述专用夹具设置于镀膜机的工件盘上，所述专用夹具包括驱动装置和多个传动齿轮，驱动装置的驱动轴连接驱动轮，传动齿轮与驱动轮啮合传动；传动齿轮的内圈过盈配合装配夹具转轴，夹具转轴的端部开设夹具孔，夹具孔中过盈配合设置硅胶棒，硅胶棒从端面向内部开设中空腔，中空腔中过盈配合装配待镀膜的管状或棒状光学元件，使待镀膜的管状或棒状光学元件被所述夹具转轴带动旋转。本发明适于真空沉积镀膜中对于管状、棒状、柱面和光纤外表面等光学元件镀膜，可以用于批量生产，且能有效保证膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 光学 元件 外表 镀膜 专用 夹具 | ||
【主权项】：
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