[发明专利]光谱共焦测头波长与位移映射关系标定装置及拟合方法在审

专利信息
申请号: 202110871011.7 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113654457A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 张海涛;李杏华;李海腾;陈宝全;乔铁柱 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 代理人: 任林芳
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明属于光谱共焦测头位移测量精度标定领域,光谱共焦测头出射信号的峰值波长与位移映射关系的精确建立,才能够保持光谱共焦测头最终的测量精度,但是现有技术中很少有提及光谱共焦测头出射信号的峰值波长与位移精确映射关系的标定或建立方法,本发明提供一种光谱共焦测头波长与位移映射关系标定装置及拟合方法,通过光谱共焦测头波长与位移映射数据标定装置,可以有效减小标定过程中的阿贝误差和余弦误差,通过非均匀有利B样条拟合方法,不仅可以精确的拟合出光谱共焦测头的波长与位移的映射关系,而且可以使拟合曲线更具光顺性,另外降低了对一维运动平台的精度要求,提高了本方法的可操作性和实用性。
搜索关键词: 光谱 共焦测头 波长 位移 映射 关系 标定 装置 拟合 方法
【主权项】:
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