[发明专利]丝网印刷系统及丝网印刷方法有效
| 申请号： | 202110872243.4 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113442563B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张良;符欣;辛华伟;程尚之;李晨;李建清;吴建晓 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | B41F15/08 | 分类号： | B41F15/08;B41F15/14;B41M1/12;G06V10/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种丝网印刷方法及丝网印刷系统，丝网印刷方法包括：提供可移动载台；当可移动载台处于初始位置时，将丝网印版设置在可移动载台的周围，丝网印版具有待印刷图案，将半导体器件放置在可移动载台上，第一栅线与可移动载台接触，采用图像传感装置获取半导体器件至丝网印版的第一相对位置信息；在可移动载台的移动过程中采用激光发射部件和红外光接收部件获取第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；根据第一相对位置信息和第二位置信息中的至少第二位置信息，采用移动件带动丝网印版移动，使待印刷图案与第一栅线对准；以丝网印版为掩膜在半导体器件的表面印刷第二栅极。丝网印刷方法容易实现第二栅线与第一栅线的对准，且对准效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 丝网 印刷 系统 方法 | ||
【主权项】：
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