[发明专利]一种光谱分量的对准可调整光谱仪有效
申请号: | 202110874681.4 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113532641B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 周辉;曹海峰;李海峰;王月虹;张道森 | 申请(专利权)人: | 季华实验室 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/45 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 528200 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请属于医疗器械技术领域,一种光谱分量的对准可调整光谱仪,包括依次连接的光接口、第一半透半反镜、第一振镜、第二振镜、光学缩束系统、第二半透半反镜、狭缝、全息凹面光栅、第一图像采集器,还包括与所述第二半透半反镜连接的第二图像采集器,以及分别与第一图像采集器、第二图像采集器、第一振镜、第二振镜、光学所述系统连接的计算机及显示系统。本申请的光谱分量的对准可调整光谱仪通过可调偏转的光学元件实现光刻调偏转,实现两级分光,改进光与探测器的传感器阵列的对准,实现抗环境振动干扰、高执行速率与高成像分辨率的目标区域成像,提高成像系统的精确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 光谱 分量 对准 可调整 光谱仪 | ||
【主权项】:
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