[发明专利]一种超微缺陷检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 202110878028.5 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113325006B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 雷枫;张武杰;吕晓云;张铅 | 申请（专利权）人： | 中科慧远视觉技术（北京）有限公司;中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100088 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种超微缺陷检测装置及其检测方法，装置包括成像模块、光源模块、滤波模块和安装平台，成像模块进一步包括相机、成像透镜和物镜，相机、成像透镜与物镜从上至下依次垂直排列，光源模块进一步包括准直镜、光源发生器和分光束镜，光源发生器和分光束镜相连，准直镜安装在光源发生器与分光束镜之间；滤波模块进一步包括空间滤波器，空间滤波器安装在成像透镜和物镜之间。本申请采用非接触缺陷检测方式，不会破坏待测物体表面，适用于检测易损伤表面的缺陷；与常用的光学显微成像系统相比，本申请既有高分辨率、又有大视场，能够识别分布于数十毫米范围内的亚微米大小缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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