[发明专利]一种倒装结构深紫外LED芯片及其制备方法有效
申请号: | 202110878292.9 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113410346B | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 王雪;崔志勇 | 申请(专利权)人: | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/20;H01L33/00 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 申龙华 |
地址: | 047500 山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明涉及一种倒装结构深紫外LED芯片及其制备方法,LED芯片包括LED外延片以及p电极(101)和n电极(102),LED外延片包括依次叠加的n型半导体层(204)、发光层(205)、电子阻挡层(206)和p型半导体层(207),p型半导体层(207)具有不在同一水平面上的p第一结构表面(311)、p第二结构表面(312)和p第三结构表面(313),p第一结构表面(311)、p第二结构表面(312)和p第三结构表面(313)上均设置有由n型半导体材料制成的隧穿结(601)。其通过优化p型半导体层结构,能减少p型高铝组分氮化物对紫外光的吸收,提升亮度;通过加入隧穿结,能降低工作电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒装 结构 深紫 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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