[发明专利]一种光镊系统中聚焦透镜摆放误差校正装置及方法有效
| 申请号： | 202110878383.2 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113701998B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 张瀚林;李文强;李楠;胡慧珠;舒晓武;刘承 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/62;G02B7/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光镊系统中聚焦透镜摆放误差校正装置及方法。光镊系统中的聚焦透镜被安放在笼式安装座中，通过分别调节笼式安装座沿x轴和y轴的倾角来改变聚焦透镜的摆放倾角，不断调节x轴的倾角使x方向的谐振频率达到最大，再不断调节y轴的倾角使y方向的谐振频率达到最大，以此来减小倾角误差。光镊系统中捕获光光源放置在三维调节架上，通过调节三维调节架高度使y方向的谐振频率达到最大，通过调节三维调节架水平位置使x方向的谐振频率达到最大，以此来减小离轴误差。重复上面两项操作，直至x方向的谐振频率和y方向的谐振频率相等。本发明提高了光镊系统中聚焦透镜的摆放精度，具有实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 聚焦 透镜 摆放 误差 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
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