[发明专利]一种制备红外光学材料的化学气相沉积系统及方法

摘要

本发明公开了一种制备红外光学材料的化学气相沉积系统，包括依次连接的原料坩埚、进气用坩埚盖、沉积室和排气装置，沉积室内设置有至少两块沉积分隔板并分割为多个首尾贯通的沉积室，首端的沉积室对应的进气用坩埚盖上设置有多个第一进气嘴和多个第二进气嘴，第一进气嘴与原料坩埚贯通设置，进气用坩埚盖上还设置有与原料坩埚贯通的第一进气通道以及与第二进气嘴贯通的第二进气通道；还公开一种化学气相沉积方法，通过对第一原料、载气、第二原料气体和稀释气体的摩尔比限定，从而匹配系统制备。本发明能够显著提升材料的性能，提高材料的厚度均匀性以及原料的利用率，非常适于大尺寸、高质量红外光学材料的生产。