[发明专利]微致动器位移及倾角测量装置及方法有效
| 申请号： | 202110882268.2 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113607062B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 刘维新;唐宁;夏利东;左修辉 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256 | 代理人： | 张媛媛 |
| 地址： | 264209 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微致动器位移及倾角测量装置及方法。激光器谐振腔由固定腔镜和独立腔镜构成，在独立腔镜和激光增益管之间沿激光轴线倾斜放置镀增透膜的玻璃片，其表面反射两弱光束入射到致动器驱动的平面反射镜，折返后耦合回谐振形成分叉腔激光回馈。在致动器运动过程中，通过光电探测器接收并记录激光回馈形成的光强变化条纹，根据回馈条纹周期和包络特性，计算得到致动器的位移与倾角。本发明可以对微位移致动器在线性伸缩过程中的位移量和倾斜角同时进行测量，评估其性能指标。 | ||
| 搜索关键词： | 微致动器 位移 倾角 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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