[发明专利]巨量转移设备在审
| 申请号： | 202110883029.9 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113594308A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李允立;赖育弘;林子旸 | 申请（专利权）人： | 錼创显示科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;黄健 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学园*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种巨量转移设备，包括基座平台、第一基板载台、第二基板载台、至少一激光头及伺服马达模块。第一基板载台适于带动目标基板沿着第一方向相对于基座平台移动。第二基板载台适于带动至少一微型元件基板沿着第二方向相对于第一基板载台移动。至少一微型元件基板具有基板与至少一微型元件。至少一激光头适于移动至对应第二基板载台的目标位置，并朝向至少一微型元件基板发出激光束。激光束用以照射至少一微型元件基板，使至少一微型元件脱离基板并与目标基板相连接。伺服马达模块用以驱使第一基板载台、第二基板载台与至少一激光头移动。 | ||
| 搜索关键词： | 巨量 转移 设备 | ||
【主权项】：
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